克力以±0.07℃温控精度，为半导体先进制程定制精密微环境系

在半导体制造过程中,晶圆需要经历一系列高精度的蚀刻、涂层、光刻等工艺,这些工艺都需要在特定的温度范围内进行,其所在生产车间环境参数的微小偏差,可能会导致晶圆材料的物理性质发生变化,导致产品性能大幅下降。

依托自主研发技术,江苏克力空调有限公司的高精密恒温恒湿系统的温控精度可达±0.07℃,为半导体先进制程提供环境保障。目前,超高精密恒温恒湿环控系统已服务多家芯片半导体领军企业以及重点实验室。

 

 

克力超高精密环控系统

三大自研科技精准护航

在精密环境控制领域,核心技术的自主研发能力是衡量企业实力的关键标尺。克力凭借三大核心自研科技 —— 超高精密传感器、超高精密控制器、超高精密执行器,构建起全链路自主可控的技术体系,为环境超高精度控制提供底层支撑。

精准感知| 超高精密传感器

环境参数的精准捕捉是高精度控制的前提,克力搭载自主研发传感技术,实时捕捉温度等关键参数的细微波动。该传感器经国家计量检测机构权威认证,测温精度达到±0.001℃的超高水准,有效规避外部因素对数据采集的干扰,提供真实、有效的原始数据支撑。目前,这一精度表现已达到国内行业TOP3水平。

智能解析| 超高精密控制器

依托克力自主研发的智能控制算法,结合高精度传感反馈机制,实现毫秒级快速响应与智能解析。该技术可精准匹配不同场景下的控制需求,确保调控动作的及时性与准确性。目前,相关技术已获得多项发明专利及软件著作权,不仅体现技术的合规性与先进性,更以标准化的技术领航行业发展。

协同保障| 超高精密执行器

在执行层面,克力通过超高精密执行器与精密传感器、智能控制器的深度协同,构建起闭环式精密执行体系。该体系以毫秒级响应速度,将控制器输出的调控指令精准转化为执行动作,实时修正环境参数偏差,确保系统始终维持在预设的高精度运行区间。

 

 

24小时不间断

克力项目现场实时检测

在克力某半导体光刻工艺实验室项目中,环境要求需维持23士0.3°C、45士3%RH的严格条件,确保掩膜版与硅片热膨胀系数匹配,减少套刻误差。克力空调超高精密恒温恒湿系统24小时稳定度经中国计量学院检测:在设定点23℃下,温度波动仅为23℃±0.07℃,系统核心区域的温度变化被精准地控制在极其狭窄的区间内; 在设定点45.0%相对湿度下,相对湿度波动范围仅为±1.6%;温度均匀度达0.18℃,相对湿度均匀度为0.9%,共同保证整个空间环境参数的高度均一与稳定。

 

 

克力定制化全周期解决方案

凭借不断创新的技术实力、定制化解决方案与全周期服务保障,克力空调高精密恒温恒湿环境控制系统已深度服务于全球半导体、光学、航空航天、精密制造、军工领域的优秀企业及重点科研院所。

江苏克力空调有限公司以±0.07℃温控精度、±1.6% RH湿度控制精度为核心竞争力,搭配自主研发的智能调控算法与节能技术,为各行业科研攻关与规模化生产提供恒稳环境保障。相信在未来,克力空调将继续秉持技术领先的理念,为市场带来更多优质的产品与服务,引领行业迈向更高的精度标准。